Gerät

Mini Coater (Tectra) mit Quarz-Mikrowaage

Methode

Das Gerät wird zur Herstellung von Dünnschichtelektroden aus Gold genutzt. Zunächst wird auf Glasobjekträger eine dünne Schicht Chrom mit einem Elektronenstrahlverdampfer aufgebracht (etwa 5 nm) und danach eine Schicht von 50-200 nm Gold aus einem widerstandsbeheizen Tigel. Die Schichtdicken werden über eine Quarzmikrowaage verfolgt.