Electronic Speckle Pattern Interferometry (ESPI)
Elektronische Specklemuster Interferometrie (ESPI)
- 3D-ESPI-System mit räumlicher Phasenschiebetechnik (Spatial Phase Shifting, SPS)
- 3D-ESPI-System mit zeitlicher Phasenschiebetechnik (Temporal Phase Shifting, TPS)
- Mikroskop-ESPI auf Messfeldern in der Größenordnung (103-106) µm2
- Kurzkohärenz-ESPI unter Einsatz von Lichtquellen mit Kohärenzlängen
im Bereich einiger 10 µm - Zeitliche Demodulation von Phasenverteilungen
- Aktive in-line Phasenstabilisierung in ESPI-Systemen
- Messung von Oberflächenverformungen
- Messung von Oberflächendekorrelationen
- Schwingungsanalysen (Anwendungsbeispiel)
