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Electronic Speckle Pattern Interferometry (ESPI)

Elektronische Specklemuster Interferometrie (ESPI)

 

  • 3D-ESPI-System mit räumlicher Phasenschiebetechnik (Spatial Phase Shifting, SPS)
  • 3D-ESPI-System mit zeitlicher Phasenschiebetechnik (Temporal Phase Shifting, TPS)
  • Mikroskop-ESPI auf Messfeldern in der Größenordnung (103-106) µm2
  • Kurzkohärenz-ESPI unter Einsatz von Lichtquellen mit Kohärenzlängen
    im Bereich einiger 10 µm
  • Zeitliche Demodulation von Phasenverteilungen
  • Aktive in-line Phasenstabilisierung in ESPI-Systemen
  • Messung von Oberflächenverformungen
  • Messung von Oberflächendekorrelationen
  • Schwingungsanalysen (Anwendungsbeispiel)
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