Präparation von FIB Lamellen
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Präparation von FIB Lamellen
Mittlerweile ist die Verwendung eines Fokussierten Ionenstrahls (FIB: Focussed Ion Beam) ein gängiges Verfahren, um dünne Lamellen herzustellen, die für die Analyse in einem Transmissionselektronenmikroskop geeignet sind [1, 2].
In der Carl von Ossietzky Universität Oldenburg ist die Präparation von FIB-Lamellen in einem Helios NanoLab 600i (FEI/Thermofischer) Rasterelektronenmikroskop möglich.
Wie eine FIB-Lamelle hergestellt wird, sehen Sie in folgendem Video: video
Referenzen:
[1] L.A. Giannuzzi, F.A. Stevie. A review of focused ion beam milling techniques for TEM specimen preparation. Micron, 30 (1999), pp. 197-204, 10.1016/s0968-4328(99)00005-0.
[2] Chen Li, Gerlinde Habler, Lisa C.Baldwin, Rainer Abart. An improved FIB sample preparation technique for site-specific plan-view specimens: A new cutting geometry. Ultramicroscopy 184 (2018) 310–317.