Ein selbstentwickeltes Tieftemperatur Rastertunnelmikroskop für noch bessere thermische Auflösung. Über einen Pulsrohrkryostaten können durch die Heliumkühlung Probentemperaturen von ~6 K erreicht werden. Der Einsatz eines "trockenen" Kryostaten mit geschlossenem Kühlmittelkreislauf stellt eine neue Entwicklung im Bereich der Rastersondenmikroskopie dar. Die wesentliche Herausforderung besteht dabei in der Vibrationsentkopplung zwischen Kryostat und Mikroskop.
- Vorkammer: 10-9 hPa
- Hauptkammer: 10-10 hPa
- Elektronenstrahlverdampfer
- reaktive Plasmaionenätze
- Selbstentwickeltes, elaboriertes Proben- und Spitzentransfersystem im Ultrahochvakuum um Proben und Spitzen vollständig im Vakuum präparieren zu können
- Restgasanalysator